Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición
Pág. 13-18
- Autores:
-
Rojas Martínez, Y.
Oyola Lozano, D.
Bustos Rodríguez, H.
Cardona Bedoya, J. A.
Pérez Alcázar,G.
- Tipo de recurso:
- Fecha de publicación:
- 2009
- Institución:
- Universidad del Tolima
- Repositorio:
- RIUT: Repositorio U. Tolima
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repository.ut.edu.co:001/1359
- Acceso en línea:
- https://repository.ut.edu.co/handle/001/1359
- Palabra clave:
- Pulverización catódica DC
Plasma
Sonda de Langmuir
Parámetros macroscópicos
Sputtering DC
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Macroscopic parameter
- Rights
- License
- Atribución-NoComercial-CompartirIgual 2.5 Colombia (CC BY-NC-SA 2.5 CO)
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El ánodo tiene un Th ermocoax de puntas frías con una termocupla tipo K y un controlador de temperatura Omega. Para establecer una ley de escala que permitiera medir la razón de deposición y espesores de las películas se crecieron películas delgadas de Nd0.257Fe0.743sobre sustratos de vidrio, durante tiempos de t = 6, 12 y 24 horas.Abstract. A DC sputtering system was designed and fabricated, which includes two electrodes with a diameter of 25 mm and Langmuir cylinder probe system to characterize the plasma during the growth of fi lm. We achieved optimal values of temperature, electron density, pressure and electrodes separation. Pressure-voltage (P-V) curves were used to characterize the vacuum chamber (diameter 180 mm, height 110 mm) in order to determine the optimal values of electrode separation, pressure and voltage. Typical values found were: V= 400V, I = 50 mA, P = 1.7 mb, electrodes separation= 20mm.Th e anode has a thermocoax of cold tips with a type K thermocouple and an Omega temperature control. Th in fi lms were grown on glass substrates Nd0.257Fe0.743 for times t = 6, 12, 24 hours to establish a scale law to measure the deposition rate and thickness of the fi lms.application/pdfRojas Martínez, Y.; Oyola Lozano, D.; Bustos Rodríguez, H.; Cardona Bedoya, J. A.; Pérez Alcázar,G. Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición. Revista Tumbaga;Vol. 3. Pág. 13-18. Ibagué : Universidad del Tolima, 2009. <http://repository.ut.edu.co/handle/001/1359>https://repository.ut.edu.co/handle/001/1359spaIbagué : Universidad del Tolima, 2009.170 COL CORevista Tumbaga;Vol. 3Atribución-NoComercial-CompartirIgual 2.5 Colombia (CC BY-NC-SA 2.5 CO)http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/co/http://purl.org/coar/access_right/c_abf2Pulverización catódica DCPlasmaSonda de LangmuirParámetros macroscópicosSputtering DCPlasmaLangmuir sondeElectric dischargesMacroscopic parameterDiseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transiciónDesign and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metalsArtículo de revistaTextinfo:eu-repo/semantics/articlehttp://purl.org/coar/version/c_dc82b40f9837b551http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1PublicationORIGINALRIUT-LJ-spa-2014-Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición.pdfRIUT-LJ-spa-2014-Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición.pdfapplication/pdf985860https://repository.ut.edu.co/bitstreams/85d9479a-2575-43b1-8da8-f68228203e06/download8fd655bb43f5ef634a6b60e428af54b2MD51CC-LICENSElicense_urllicense_urltext/plain; charset=utf-849https://repository.ut.edu.co/bitstreams/ed5e99e0-9112-430c-92c1-5a59af4f2b98/download4afdbb8c545fd630ea7db775da747b2fMD52license_textlicense_texttext/html; charset=utf-822302https://repository.ut.edu.co/bitstreams/be7deb0c-1d2c-4c10-abf5-c50ca63bcf60/download1e0094e9d8adcf16b18effef4ce7ed83MD53license_rdflicense_rdfapplication/rdf+xml; charset=utf-823148https://repository.ut.edu.co/bitstreams/5b4d37f8-cc45-4fa6-ba86-2be6a262d4d5/download9da0b6dfac957114c6a7714714b86306MD54LICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-8227https://repository.ut.edu.co/bitstreams/3c2a5e2e-69e4-4dd1-bfd4-494eaf72d798/download127f1942dfbe07f43e8227b660620c70MD55TEXTRIUT-LJ-spa-2014-Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición.pdf.txtRIUT-LJ-spa-2014-Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición.pdf.txtExtracted texttext/plain13637https://repository.ut.edu.co/bitstreams/77b2fb3a-c261-4e2f-ac68-b38dcc7243f2/download37d2607c5230d9d1d3bf86d87b5c9820MD56THUMBNAILRIUT-LJ-spa-2014-Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición.pdf.jpgRIUT-LJ-spa-2014-Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg11239https://repository.ut.edu.co/bitstreams/701b4e9d-b280-4467-ac98-ec2968928dea/download67ff7e9ba2ea3d7770cdb8d141869f60MD57001/1359oai:repository.ut.edu.co:001/13592023-03-24 17:51:51.964http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/co/Atribución-NoComercial-CompartirIgual 2.5 Colombia (CC BY-NC-SA 2.5 CO)https://repository.ut.edu.coRepositorio Institucional - Universidad del Tolimasoporte@metabiblioteca.comQ3JlYXRpdmUgQ29tbW9ucyAtIExpY2VuY2lhIGRlIFJlY29ub2NpbWllbnRvIC0gTm9Db21lcmNpYWwgKGJ5LW5jKSA6IFNlIHBlcm1pdGUgbGEgZ2VuZXJhY2nDs24gZGUgb2JyYXMgZGVyaXZhZGFzIHNpZW1wcmUgcXVlIG5vIHNlIGhhZ2EgdW4gdXNvIGNvbWVyY2lhbC4gVGFtcG9jbyBzZSBwdWVkZSB1dGlsaXphciBsYSBvYnJhIG9yaWdpbmFsIGNvbiBmaW5hbGlkYWRlcyBjb21lcmNpYWxlcy4= |