Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición

Pág. 13-18

Autores:

Rojas Martínez, Y.
Oyola Lozano, D.
Bustos Rodríguez, H.
Cardona Bedoya, J. A.
Pérez Alcázar,G.

Tipo de recurso:

Fecha de publicación:

2009

Institución:

Universidad del Tolima

Repositorio:

RIUT: Repositorio U. Tolima

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repository.ut.edu.co:001/1359

Acceso en línea:

https://repository.ut.edu.co/handle/001/1359

Palabra clave:

Pulverización catódica DC
Plasma
Sonda de Langmuir
Parámetros macroscópicos
Sputtering DC
Plasma
Langmuir sonde
Electric discharges
Macroscopic parameter

Rights

License

Atribución-NoComercial-CompartirIgual 2.5 Colombia (CC BY-NC-SA 2.5 CO)