Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición

Pág. 13-18

• Autores: Rojas Martínez, Y.; Oyola Lozano, D.; Bustos Rodríguez, H.; Cardona Bedoya, J. A.; Pérez Alcázar,G.
• Fecha de publicación: 2009
• Institución: Universidad del Tolima
• Repositorio: RIUT: Repositorio U. Tolima
• Idioma: spa
• OAI Identifier: oai:repository.ut.edu.co:001/1359
• Acceso en línea: https://repository.ut.edu.co/handle/001/1359
• Palabra clave: Pulverización catódica DC; Plasma; Sonda de Langmuir; Parámetros macroscópicos; Sputtering DC; Plasma; Langmuir sonde; Electric discharges; Macroscopic parameter
• License: Atribución-NoComercial-CompartirIgual 2.5 Colombia (CC BY-NC-SA 2.5 CO)