Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization

Increasing reliance on electronic devices demands products with high performance and efficiency. Such devices can be realized through the advent of nanoparticle technology. This book explains the physicochemical properties of nanoparticles according to each step in the chemical mechanical planarizat...

Full description

Autores:

Tipo de recurso:

Book

Fecha de publicación:

2009

Institución:

Universidad de Bogotá Jorge Tadeo Lozano

Repositorio:

Expeditio: repositorio UTadeo

Idioma:

eng

OAI Identifier:

oai:expeditiorepositorio.utadeo.edu.co:20.500.12010/14637

Acceso en línea:

https://library.oapen.org/handle/20.500.12657/25193
http://hdl.handle.net/20.500.12010/14637

Palabra clave:

Agricultura
Ingeniería de nanopartículas
Ciencias materiales
Planarización químico-mecánica

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