Caracterización de películas delgadas de dióxido de silicio (SIO2) obtenidas mediante la técnica combustion chemical vapor deposition (CCVD)
"La técnica Combustion Chemical Vapor Deposition (CCVD) permite obtener recubrimientos sobre sustratos en condiciones ambientales, esto resulta conveniente industrialmente dado la simplicidad del proceso. En este trabajo se implementó un montaje de deposición CCVD para estudiar las variables in...
- Autores:
-
Capote Sánchez, Ariel
- Tipo de recurso:
- Trabajo de grado de pregrado
- Fecha de publicación:
- 2020
- Institución:
- Universidad de los Andes
- Repositorio:
- Séneca: repositorio Uniandes
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.uniandes.edu.co:1992/44837
- Acceso en línea:
- http://hdl.handle.net/1992/44837
- Palabra clave:
- Películas delgadas
Películas delgadas de silicio
Silicio
Galvanoplastia al vapor
Deposición química de vapores
Ingeniería
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