Caracterización de películas delgadas de dióxido de silicio (SIO2) obtenidas mediante la técnica combustion chemical vapor deposition (CCVD)

"La técnica Combustion Chemical Vapor Deposition (CCVD) permite obtener recubrimientos sobre sustratos en condiciones ambientales, esto resulta conveniente industrialmente dado la simplicidad del proceso. En este trabajo se implementó un montaje de deposición CCVD para estudiar las variables in...

Full description

Autores:
Capote Sánchez, Ariel
Tipo de recurso:
Trabajo de grado de pregrado
Fecha de publicación:
2020
Institución:
Universidad de los Andes
Repositorio:
Séneca: repositorio Uniandes
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.uniandes.edu.co:1992/44837
Acceso en línea:
http://hdl.handle.net/1992/44837
Palabra clave:
Películas delgadas
Películas delgadas de silicio
Silicio
Galvanoplastia al vapor
Deposición química de vapores
Ingeniería
Rights
openAccess
License
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