Crecimiento y caracterización de películas delgadas de NbN
En este trabajo, se han producido películas delgadas de NbN y Nb utilizando la técnica de pulverización catódica reactiva con magnetrón RF, utilizando un blanco de Nb (99.99%) bajo diversas presiones parciales de N2 y a dos temperaturas diferentes, ambiente (22 °C) y 600 °C. Las películas resultante...
- Autores:
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Cruz Palmera, Samir José de la
- Tipo de recurso:
- Trabajo de grado de pregrado
- Fecha de publicación:
- 2023
- Institución:
- Universidad de los Andes
- Repositorio:
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En este trabajo, se han producido películas delgadas de NbN y Nb utilizando la técnica de pulverización catódica reactiva con magnetrón RF, utilizando un blanco de Nb (99.99%) bajo diversas presiones parciales de N2 y a dos temperaturas diferentes, ambiente (22 °C) y 600 °C. Las películas resultantes fueron caracterizadas mediante microscopía electrónica de barrido, microscopía de fuerza atómica y medidas de resistividad en un rango de temperatura de 4 K a 300 K. Estas técnicas permitieron examinar la composición atómica, microestructura, morfología de la superficie y propiedades eléctricas de las películas depositadas. |
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Estas técnicas permitieron examinar la composición atómica, microestructura, morfología de la superficie y propiedades eléctricas de las películas depositadas.In this work, thin films of NbN and Nb have been produced using the reactive sputtering technique with RF magnetron, employing a Nb target (99.99%) under various partial pressures of N2 and at two different temperatures, room temperature (22 °C) and 600 °C. The resulting films were characterized using scanning electron microscopy, atomic force microscopy, and resistivity measurements in a temperature range from 4 K to 300 K. These techniques allowed for the examination of the atomic composition, microstructure, surface morphology, and electrical properties of the deposited films.FísicoPregradoSuperconductividad45 páginasapplication/pdfspaUniversidad de los AndesFísicaFacultad de CienciasDepartamento de FísicaAttribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 Internationalhttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/info:eu-repo/semantics/openAccesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Crecimiento y caracterización de películas delgadas de NbNGrowth and Characterization of NbN Thin FilmsTrabajo de grado - Pregradoinfo:eu-repo/semantics/bachelorThesisinfo:eu-repo/semantics/acceptedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_7a1fTexthttp://purl.org/redcol/resource_type/TPSuperconductividadPelículas delgadasPulverización catódicaBajas temperaturasNitruro de NiobioFísicaH. K. Onnes, "The Superconductivity of Mercury," Comm. Phys. Lab. Univ., Leiden, 1911, pp. 122-124.J.W. 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