Crecimiento y caracterización de películas delgadas de NbN

En este trabajo, se han producido películas delgadas de NbN y Nb utilizando la técnica de pulverización catódica reactiva con magnetrón RF, utilizando un blanco de Nb (99.99%) bajo diversas presiones parciales de N2 y a dos temperaturas diferentes, ambiente (22 °C) y 600 °C. Las películas resultante...

Full description

Autores:
Cruz Palmera, Samir José de la
Tipo de recurso:
Trabajo de grado de pregrado
Fecha de publicación:
2023
Institución:
Universidad de los Andes
Repositorio:
Séneca: repositorio Uniandes
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.uniandes.edu.co:1992/73348
Acceso en línea:
https://hdl.handle.net/1992/73348
Palabra clave:
Superconductividad
Películas delgadas
Pulverización catódica
Bajas temperaturas
Nitruro de Niobio
Física
Rights
openAccess
License
Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International