Crecimiento y caracterización de películas delgadas de NbN
En este trabajo, se han producido películas delgadas de NbN y Nb utilizando la técnica de pulverización catódica reactiva con magnetrón RF, utilizando un blanco de Nb (99.99%) bajo diversas presiones parciales de N2 y a dos temperaturas diferentes, ambiente (22 °C) y 600 °C. Las películas resultante...
- Autores:
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Cruz Palmera, Samir José de la
- Tipo de recurso:
- Trabajo de grado de pregrado
- Fecha de publicación:
- 2023
- Institución:
- Universidad de los Andes
- Repositorio:
- Séneca: repositorio Uniandes
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.uniandes.edu.co:1992/73348
- Acceso en línea:
- https://hdl.handle.net/1992/73348
- Palabra clave:
- Superconductividad
Películas delgadas
Pulverización catódica
Bajas temperaturas
Nitruro de Niobio
Física
- Rights
- openAccess
- License
- Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International
| Summary: | En este trabajo, se han producido películas delgadas de NbN y Nb utilizando la técnica de pulverización catódica reactiva con magnetrón RF, utilizando un blanco de Nb (99.99%) bajo diversas presiones parciales de N2 y a dos temperaturas diferentes, ambiente (22 °C) y 600 °C. Las películas resultantes fueron caracterizadas mediante microscopía electrónica de barrido, microscopía de fuerza atómica y medidas de resistividad en un rango de temperatura de 4 K a 300 K. Estas técnicas permitieron examinar la composición atómica, microestructura, morfología de la superficie y propiedades eléctricas de las películas depositadas. |
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