Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas

Este artículo presenta el diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos basados en películas delgadas. El sistema trabaja con una fuente ultravioleta (UV) de 380nm y permite obtener microestructuras de 10-200 μm. La implementación se hizo con el proceso de d...