Implementación de una fuente de arcos pulsados para la producción de recubrimientos duros de TiN

En este trabajo se hace referencia a la implementación de una fuente de arcos pulsados, que ha sido acoplada a un sistema de deposición de recubrimientos duros, utilizando la técnica de deposición física en fase vapor asistida por plasma (Plasma Assisted Physical Vapor Deposition – PAPVD), en funcio...

Full description

Autores:
Arango, Yulieth Cristina
Tipo de recurso:
Fecha de publicación:
2004
Institución:
Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:
Universidad Nacional de Colombia
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/2741
Acceso en línea:
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/2741
http://bdigital.unal.edu.co/1112/
Palabra clave:
53 Física / Physics
66 Ingeniería química y Tecnologías relacionadas/ Chemical engineering
Recubrimientos
Revestimientos protectores
Superficies
Nitruro de titanio
Aplicaciones científicas
Rights
openAccess
License
Atribución-NoComercial 4.0 Internacional