Obtención y caracterización de Nanomulticapas de CrN/Cr por sputtering reactivo con diferentes configuraciones de campo magnético

Utilizando un sistema de sputtering con magnetrón desbalanceado variable, se depositaron y caracterizaron recubrimientos en multicapas de Cr/CrN, sobre sustratos de acero H13 y de silicio (100), con varios periodos o espesores de bicapa y diferentes grados de desbalance KG. En una primera serie se d...