Microestructura, esfuerzos residuales y dureza en películas delgadas de nitruro de titanio-circonio
Películas delgadas de nitruro de titanio-circonio (TiZrN) fueron sintetizadas a diferentes valores de temperaturas del sustrato por medio de la técnica de deposición de arco catódico pulsado. Inicialmente, se realizó un análisis de espectroscopía de energía dispersiva de rayos (EDS) con el fin de co...
- Autores:
-
Escobar Rincón , Daniel
- Tipo de recurso:
- Fecha de publicación:
- 2012
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.unal.edu.co:unal/11639
- Acceso en línea:
- https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/11639
http://bdigital.unal.edu.co/9108/
- Palabra clave:
- 53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Caracterización de materiales
Películas delgadas
Nitruro de Titanio-Circonio
Microestructura
Esfuerzo residual // Materials characterization
Thin films
Titanium-Zirconium Nitride
Microstructure
Residual stress
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- openAccess
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Películas delgadas de nitruro de titanio-circonio (TiZrN) fueron sintetizadas a diferentes valores de temperaturas del sustrato por medio de la técnica de deposición de arco catódico pulsado. Inicialmente, se realizó un análisis de espectroscopía de energía dispersiva de rayos (EDS) con el fin de comprobar la presencia de los elementos químicos de Ti, Zr y N posterior a la deposición. Un análisis microestructural fue llevado a cabo por medio de varios métodos debido a la presencia de anisotropías en la microdeformación y finalmente se realizó un modelamiento del patrón de difracción para determinar valores físicos reales de la microestructura de las películas; basándose en la extracción de información del patrón de difracción de rayos X de polvo (XRPD). El estado de esfuerzo residual fue también determinado por medio de la técnica de difracción de rayos X asumiendo un comportamiento isotrópico del material en función del módulo de Young y el coeficiente de Poisson. La morfología superficial de la muestra fue determinada por medio de microscopía de fuerza atómica en función de la evolución del tamaño de grano en términos de la temperatura del sustrato durante la deposición. Por medio de nanoindentaciones, la dureza de las películas fue determinada, finalmente relacionando esta propiedad con los parámetros de síntesis a través de la información microestructural extraída a través de los modelos utilizados (Texto tomado de la fuente) |
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Atribución-NoComercial 4.0 InternacionalDerechos reservados - Universidad Nacional de Colombiahttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/info:eu-repo/semantics/openAccesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Restrepo Parra , Elisabeth (Thesis advisor)612a1ea1-bbbb-4d89-aee3-979ed2fd3442Escobar Rincón , Danielb45207b9-9320-4339-9e6f-fb46e0ca7c503002019-06-25T00:28:55Z2019-06-25T00:28:55Z2012https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/11639http://bdigital.unal.edu.co/9108/Películas delgadas de nitruro de titanio-circonio (TiZrN) fueron sintetizadas a diferentes valores de temperaturas del sustrato por medio de la técnica de deposición de arco catódico pulsado. Inicialmente, se realizó un análisis de espectroscopía de energía dispersiva de rayos (EDS) con el fin de comprobar la presencia de los elementos químicos de Ti, Zr y N posterior a la deposición. Un análisis microestructural fue llevado a cabo por medio de varios métodos debido a la presencia de anisotropías en la microdeformación y finalmente se realizó un modelamiento del patrón de difracción para determinar valores físicos reales de la microestructura de las películas; basándose en la extracción de información del patrón de difracción de rayos X de polvo (XRPD). El estado de esfuerzo residual fue también determinado por medio de la técnica de difracción de rayos X asumiendo un comportamiento isotrópico del material en función del módulo de Young y el coeficiente de Poisson. La morfología superficial de la muestra fue determinada por medio de microscopía de fuerza atómica en función de la evolución del tamaño de grano en términos de la temperatura del sustrato durante la deposición. Por medio de nanoindentaciones, la dureza de las películas fue determinada, finalmente relacionando esta propiedad con los parámetros de síntesis a través de la información microestructural extraída a través de los modelos utilizados (Texto tomado de la fuente)Titanium-zirconium nitride (TiZrN) thin films were synthesized at different values of substrate temperatures by pulsed cathodic arc deposition technique. Initially, X-ray energy dispersive spectroscopy (EDS) analysis were carried out in order to prove the presence of Ti, Zr and N after deposition process. A microstructural analysis was made by several methods due to the existence of anisotropy in the microstrain and finally a microstructural powder pattern modelling were carried out to obtain real physical values of the films based on information extraction from X-ray powder diffraction pattern (XRPD). Residual stress state was also determined by means of XRPD assuming an isotropic behavior of the material in function of Young modulus and Poisson coefficient. Morphology analysis was determined by means of atomic force microscopy in terms of grain size evolution with substrate temperature during deposition. Nanoindentation analysis was made in order to determine hardness and finally relate with synthesis parameters through microstructural informationMaestríaapplication/pdfspaUniversidad Nacional de Colombia Sede Manizales Facultad de Ciencias Exactas y Naturales Departamento de Física y QuímicaDepartamento de Física y QuímicaEscobar Rincón , Daniel (2012) Microestructura, esfuerzos residuales y dureza en películas delgadas de nitruro de titanio-circonio = Microstructure, residual stress and hardness in titanium-zirconium nitride thin films. Maestría thesis, Universidad Nacional de Colombia - Sede Manizales.53 Física / Physics62 Ingeniería y operaciones afines / EngineeringCaracterización de materialesPelículas delgadasNitruro de Titanio-CirconioMicroestructuraEsfuerzo residual // Materials characterizationThin filmsTitanium-Zirconium NitrideMicrostructureResidual stressMicroestructura, esfuerzos residuales y dureza en películas delgadas de nitruro de titanio-circonioMicrostructure, residual stress and hardness in titanium-zirconium nitride thin filmsTrabajo de grado - Maestríainfo:eu-repo/semantics/masterThesisinfo:eu-repo/semantics/acceptedVersionTexthttp://purl.org/redcol/resource_type/TMORIGINAL6710001.2012.pdfTesis de Maestría en Ciencias - Físicaapplication/pdf4043608https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/11639/1/6710001.2012.pdf63e505f8fd440ebd108f7bc82452ea9bMD51THUMBNAIL6710001.2012.pdf.jpg6710001.2012.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg5405https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/11639/2/6710001.2012.pdf.jpgbfbbe3b18cf56f187421922d8eb7423bMD52unal/11639oai:repositorio.unal.edu.co:unal/116392023-09-19 23:05:44.232Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombiarepositorio_nal@unal.edu.co |