Microestructura, esfuerzos residuales y dureza en películas delgadas de nitruro de titanio-circonio

Películas delgadas de nitruro de titanio-circonio (TiZrN) fueron sintetizadas a diferentes valores de temperaturas del sustrato por medio de la técnica de deposición de arco catódico pulsado. Inicialmente, se realizó un análisis de espectroscopía de energía dispersiva de rayos (EDS) con el fin de co...

Full description

Autores:
Escobar Rincón , Daniel
Tipo de recurso:
Fecha de publicación:
2012
Institución:
Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:
Universidad Nacional de Colombia
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/11639
Acceso en línea:
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/11639
http://bdigital.unal.edu.co/9108/
Palabra clave:
53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Caracterización de materiales
Películas delgadas
Nitruro de Titanio-Circonio
Microestructura
Esfuerzo residual // Materials characterization
Thin films
Titanium-Zirconium Nitride
Microstructure
Residual stress
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openAccess
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Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
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description Películas delgadas de nitruro de titanio-circonio (TiZrN) fueron sintetizadas a diferentes valores de temperaturas del sustrato por medio de la técnica de deposición de arco catódico pulsado. Inicialmente, se realizó un análisis de espectroscopía de energía dispersiva de rayos (EDS) con el fin de comprobar la presencia de los elementos químicos de Ti, Zr y N posterior a la deposición. Un análisis microestructural fue llevado a cabo por medio de varios métodos debido a la presencia de anisotropías en la microdeformación y finalmente se realizó un modelamiento del patrón de difracción para determinar valores físicos reales de la microestructura de las películas; basándose en la extracción de información del patrón de difracción de rayos X de polvo (XRPD). El estado de esfuerzo residual fue también determinado por medio de la técnica de difracción de rayos X asumiendo un comportamiento isotrópico del material en función del módulo de Young y el coeficiente de Poisson. La morfología superficial de la muestra fue determinada por medio de microscopía de fuerza atómica en función de la evolución del tamaño de grano en términos de la temperatura del sustrato durante la deposición. Por medio de nanoindentaciones, la dureza de las películas fue determinada, finalmente relacionando esta propiedad con los parámetros de síntesis a través de la información microestructural extraída a través de los modelos utilizados (Texto tomado de la fuente)
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