Deposición y análisis del crecimiento de películas delgadas de silicio fabricado por PECVD
En este trabajo se presenta un estudio de las propiedades ópticas, estructurales y morfológicas de películas delgadas de silicio microcristalino hidrogenado (μc-Si:H) con diferentes concentraciones de boro. Las muestras de μc-Si:H fueron depositadas sobre un substrato de vidrio Corning 7059 mediante...
- Autores:
-
Martínez Alméciga, Juan Gabriel
- Tipo de recurso:
- Fecha de publicación:
- 2012
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.unal.edu.co:unal/10022
- Acceso en línea:
- https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/10022
http://bdigital.unal.edu.co/7087/
- Palabra clave:
- 53 Física / Physics
54 Química y ciencias afines / Chemistry
Silicio microcristalino hidrogenado
Silano
PECVD
Crecimiento columnar
SEM
TEM
AFM / Hydrogenated microcrystalline silicon
Silane
PECVD
Columnar growth
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