Producción y caracterización de recubrimientos de multicapas de TiN / ZrN por PAPVD por arco pulsado

En este trabajo se estudia el crecimiento y caracterización de las pel ículas delgadas de TiN y ZrN crecidas en forma de monocapas, bicapas y multicapas, utilizando la técnica de Deposición Física en Fase de Vapor asistida por Plasma (PAPVD) por arco pulsado. El crecimiento de los recubrimientos se realizó a diferente número de descargas. Por medio de la difracción de rayos X (XRD) se pudo identificar que tanto para el TiN como para el ZrN, el plano de mayor intensidad se da en la orientación (200) y este comportamiento se mantiene para los diferentes diseños de las películas (monocapas, bicapas y multicapas). El Coeficiente de Textura para la orientación (200) para ambos nitruros presente en las monocapas y multicapas decrece a medida que aumenta el número de descargas. El tamaño cristalito promedio se mantiene relativamente constante para el TiN y ZrN presente en los diferentes diseños de las películas. El comportamiento de las microdeformaciones del ZrN es creciente a medida que aumenta en número de descargas. Con la microscopía de fuerza atómica (AFM) se caracterizó las películas desde el punto de vista morfológico, determinando parámetros como la rugosidad rms y tamaño de grano. Se determinó que el ZrN tiene menor coeficiente de fricción que el TiN, y para ello se empleo la técnica de microscopia de fuerza lateral (LFM). Con espectroscopia de energía dispersiva de rayos X (EDX) y fotoelectrones de rayos X (XPS) se caracterizó elementalmente los recubrimientos, en los que se identificó los elementos constitutivos de las películas. Y además se pudo concluir que el Z r-N tiene mayor presencia de nitrógeno que en el Ti-N. Con el perfil de profundidad se verificó que el crecimiento de las películas es por multicapas. (Texto tomado de la fuente)

• Autores: Arias Mateus, Diego Fernando
• Fecha de publicación: 2003
• Institución: Universidad Nacional de Colombia
• Repositorio: Universidad Nacional de Colombia
• Idioma: spa
• OAI Identifier: oai:repositorio.unal.edu.co:unal/2823
• Acceso en línea: https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/2823; http://bdigital.unal.edu.co/1196/
• Palabra clave: 53 Física / Physics; Películas delgadas; Revestimientos protectores
• Rights: openAccess
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