Producción y caracterización de recubrimientos de multicapas de TiN / ZrN por PAPVD por arco pulsado

En este trabajo se estudia el crecimiento y caracterización de las pel ículas delgadas de TiN y ZrN crecidas en forma de monocapas, bicapas y multicapas, utilizando la técnica de Deposición Física en Fase de Vapor asistida por Plasma (PAPVD) por arco pulsado. El crecimiento de los recubrimientos se...

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Autores:

Arias Mateus, Diego Fernando

Tipo de recurso:

Fecha de publicación:

2003

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.unal.edu.co:unal/2823

Acceso en línea:

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/2823
http://bdigital.unal.edu.co/1196/

Palabra clave:

53 Física / Physics
Películas delgadas
Revestimientos protectores

Rights

openAccess

License

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