Deposición de películas delgadas de Diamond-like Carbon (DLC) utilizando la técnica DC-pulsada PECVD

Resumen. En este trabajo se realizó la deposición de películas delgadas de carbono amorfo hidrogenado usando la técnica DC-pulsada PECVD. Las películas fueron depositadas utilizando plasma de metano y variando la tensión de autopolarización aplicada al cátodo durante el crecimiento de las películas....

Full description

Autores:

Vargas Barrera, César Orlando

Tipo de recurso:

Fecha de publicación:

2017

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.unal.edu.co:unal/62114

Acceso en línea:

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/62114
http://bdigital.unal.edu.co/61022/

Palabra clave:

53 Física / Physics
54 Química y ciencias afines / Chemistry
6 Tecnología (ciencias aplicadas) / Technology
66 Ingeniería química y Tecnologías relacionadas/ Chemical engineering
DLC
Recubrimientos
Sustrato de silicio
Metano
Películas de carbono amorfo hidrogenado
PECVD
Microestructura
Propiedades mecánicas
Coatings
Silicon substrate
Methane
Amorphous hydrogenated carbon films
Microstructure
Mechanical properties

Rights

openAccess

License

Atribución-NoComercial 4.0 Internacional