Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm

El propósito de este trabajo es el de estudiar la influencia del bombardeo de iones sobre la orientación preferencial (OP) en ni- truros metálicos de transición (NMT) producidos utilizando la técnica de sputtering reactivo con magnetrón desbalanceado varia- ble mediante imanes permanentes (UBM). Par...

Full description

Autores:
Olaya, Jhon Jairo
Marulanda, Diana Maritza
Rodil, Sandra
Tipo de recurso:
Article of journal
Fecha de publicación:
2010
Institución:
Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:
Universidad Nacional de Colombia
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/29218
Acceso en línea:
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/29218
http://bdigital.unal.edu.co/19266/
http://bdigital.unal.edu.co/19266/2/
Palabra clave:
metal nitride
unbalanced magnetron
UBM
reactive sputtering
nitruros metálicos
magnetrón desbalanceado
UBM
sputtering reactivo
Rights
openAccess
License
Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
id UNACIONAL2_b56cf3bd158fc27b267d286300117bd1
oai_identifier_str oai:repositorio.unal.edu.co:unal/29218
network_acronym_str UNACIONAL2
network_name_str Universidad Nacional de Colombia
repository_id_str
spelling Atribución-NoComercial 4.0 InternacionalDerechos reservados - Universidad Nacional de Colombiahttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/info:eu-repo/semantics/openAccesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Olaya, Jhon Jairo78c55d08-a8b4-4e3b-bc72-ade49ef88681300Marulanda, Diana Maritzab6b98745-7887-41ea-b181-3d48659783de300Rodil, Sandra489fbdb3-e149-49f5-a7b4-59ec1376a3d13002019-06-26T13:37:29Z2019-06-26T13:37:29Z2010https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/29218http://bdigital.unal.edu.co/19266/http://bdigital.unal.edu.co/19266/2/El propósito de este trabajo es el de estudiar la influencia del bombardeo de iones sobre la orientación preferencial (OP) en ni- truros metálicos de transición (NMT) producidos utilizando la técnica de sputtering reactivo con magnetrón desbalanceado varia- ble mediante imanes permanentes (UBM). Para ello, se estudiaron recubrimientos de nitruro de titanio (TiN) variando dos pará- metros: la razón iones-átomos sobre el sustrato (Ji/Ja) y el flujo de nitrógeno. Las condiciones de depósito fueron: presión de tra- bajo de 7 mtorr, temperatura del sustrato ~ 380ºC, flujo de nitrógeno 2 y 8,5 sccm, y las potencias de la descarga variaron en- tre 245 W y 265 W. Los resultados demuestran que la orientación preferencial (111) y la cristalinidad de los recubrimientos pro- ducidos depende más del flujo de nitrógeno que del bombardeo iónico. De manera similar, la microdureza medida en películas depositadas sobre sustratos de acero AISI-M2 aumentó desde 1.600 hasta 2.000 HV0.025 al incrementarse el flujo de nitrógeno.This work was aimed at studying the influence of ion bombardment on the preferred orientation (OP) of transition metal nitrides (TMN) produced by the reactive sputtering technique with a variable unbalanced magnetron through permanent magnets. Tita- nium nitride (TiN) coatings were thus studied by varying two parameters: ion-atom ratio on the substrate (Ji/Ja) and nitrogen flux. Deposition conditions were as follows: 7 mTorr working pressure, ~ 380ºC substrate temperature, 2 and 8.5 sccm nitrogen flux and 245-265 discharge power. The results showed that preferred orientation (111) and the crystalline behaviour of the produced coatings depended more on nitrogen flux than on ion bombardment. Similarly, micro-hardness measured on films deposited on steel AISI-M2 substrates increased from 1600 to 2000 HV0.025 when nitrogen flux was increased.application/pdfspaUniversidad Nacional de Colombia - Facultad de Ingenieríahttp://revistas.unal.edu.co/index.php/ingeinv/article/view/15220Universidad Nacional de Colombia Revistas electrónicas UN Ingeniería e InvestigaciónIngeniería e InvestigaciónIngeniería e Investigación; Vol. 30, núm. 1 (2010); 125-129 Ingeniería e Investigación; Vol. 30, núm. 1 (2010); 125-129 2248-8723 0120-5609Olaya, Jhon Jairo and Marulanda, Diana Maritza and Rodil, Sandra (2010) Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm. Ingeniería e Investigación; Vol. 30, núm. 1 (2010); 125-129 Ingeniería e Investigación; Vol. 30, núm. 1 (2010); 125-129 2248-8723 0120-5609 .Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubmArtículo de revistainfo:eu-repo/semantics/articleinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_6501http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85Texthttp://purl.org/redcol/resource_type/ARTmetal nitrideunbalanced magnetronUBMreactive sputteringnitruros metálicosmagnetrón desbalanceadoUBMsputtering reactivoORIGINAL15220-46163-1-PB.pdfapplication/pdf402995https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/29218/1/15220-46163-1-PB.pdf55155c834004f55a92317387a65ee068MD51THUMBNAIL15220-46163-1-PB.pdf.jpg15220-46163-1-PB.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg8917https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/29218/2/15220-46163-1-PB.pdf.jpgdcc38cc732e510104535951a02887653MD52unal/29218oai:repositorio.unal.edu.co:unal/292182023-11-13 23:24:54.627Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombiarepositorio_nal@unal.edu.co
dc.title.spa.fl_str_mv Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm
title Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm
spellingShingle Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm
metal nitride
unbalanced magnetron
UBM
reactive sputtering
nitruros metálicos
magnetrón desbalanceado
UBM
sputtering reactivo
title_short Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm
title_full Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm
title_fullStr Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm
title_full_unstemmed Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm
title_sort Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm
dc.creator.fl_str_mv Olaya, Jhon Jairo
Marulanda, Diana Maritza
Rodil, Sandra
dc.contributor.author.spa.fl_str_mv Olaya, Jhon Jairo
Marulanda, Diana Maritza
Rodil, Sandra
dc.subject.proposal.spa.fl_str_mv metal nitride
unbalanced magnetron
UBM
reactive sputtering
nitruros metálicos
magnetrón desbalanceado
UBM
sputtering reactivo
topic metal nitride
unbalanced magnetron
UBM
reactive sputtering
nitruros metálicos
magnetrón desbalanceado
UBM
sputtering reactivo
description El propósito de este trabajo es el de estudiar la influencia del bombardeo de iones sobre la orientación preferencial (OP) en ni- truros metálicos de transición (NMT) producidos utilizando la técnica de sputtering reactivo con magnetrón desbalanceado varia- ble mediante imanes permanentes (UBM). Para ello, se estudiaron recubrimientos de nitruro de titanio (TiN) variando dos pará- metros: la razón iones-átomos sobre el sustrato (Ji/Ja) y el flujo de nitrógeno. Las condiciones de depósito fueron: presión de tra- bajo de 7 mtorr, temperatura del sustrato ~ 380ºC, flujo de nitrógeno 2 y 8,5 sccm, y las potencias de la descarga variaron en- tre 245 W y 265 W. Los resultados demuestran que la orientación preferencial (111) y la cristalinidad de los recubrimientos pro- ducidos depende más del flujo de nitrógeno que del bombardeo iónico. De manera similar, la microdureza medida en películas depositadas sobre sustratos de acero AISI-M2 aumentó desde 1.600 hasta 2.000 HV0.025 al incrementarse el flujo de nitrógeno.
publishDate 2010
dc.date.issued.spa.fl_str_mv 2010
dc.date.accessioned.spa.fl_str_mv 2019-06-26T13:37:29Z
dc.date.available.spa.fl_str_mv 2019-06-26T13:37:29Z
dc.type.spa.fl_str_mv Artículo de revista
dc.type.coar.fl_str_mv http://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1
dc.type.driver.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/article
dc.type.version.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.coar.spa.fl_str_mv http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
dc.type.coarversion.spa.fl_str_mv http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
dc.type.content.spa.fl_str_mv Text
dc.type.redcol.spa.fl_str_mv http://purl.org/redcol/resource_type/ART
format http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.none.fl_str_mv https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/29218
dc.identifier.eprints.spa.fl_str_mv http://bdigital.unal.edu.co/19266/
http://bdigital.unal.edu.co/19266/2/
url https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/29218
http://bdigital.unal.edu.co/19266/
http://bdigital.unal.edu.co/19266/2/
dc.language.iso.spa.fl_str_mv spa
language spa
dc.relation.spa.fl_str_mv http://revistas.unal.edu.co/index.php/ingeinv/article/view/15220
dc.relation.ispartof.spa.fl_str_mv Universidad Nacional de Colombia Revistas electrónicas UN Ingeniería e Investigación
Ingeniería e Investigación
dc.relation.ispartofseries.none.fl_str_mv Ingeniería e Investigación; Vol. 30, núm. 1 (2010); 125-129 Ingeniería e Investigación; Vol. 30, núm. 1 (2010); 125-129 2248-8723 0120-5609
dc.relation.references.spa.fl_str_mv Olaya, Jhon Jairo and Marulanda, Diana Maritza and Rodil, Sandra (2010) Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm. Ingeniería e Investigación; Vol. 30, núm. 1 (2010); 125-129 Ingeniería e Investigación; Vol. 30, núm. 1 (2010); 125-129 2248-8723 0120-5609 .
dc.rights.spa.fl_str_mv Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia
dc.rights.coar.fl_str_mv http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
dc.rights.license.spa.fl_str_mv Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
dc.rights.uri.spa.fl_str_mv http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
dc.rights.accessrights.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia
http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.mimetype.spa.fl_str_mv application/pdf
dc.publisher.spa.fl_str_mv Universidad Nacional de Colombia - Facultad de Ingeniería
institution Universidad Nacional de Colombia
bitstream.url.fl_str_mv https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/29218/1/15220-46163-1-PB.pdf
https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/29218/2/15220-46163-1-PB.pdf.jpg
bitstream.checksum.fl_str_mv 55155c834004f55a92317387a65ee068
dcc38cc732e510104535951a02887653
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
MD5
repository.name.fl_str_mv Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombia
repository.mail.fl_str_mv repositorio_nal@unal.edu.co
_version_ 1814089232558325760

Publicaciones similares