Orientación preferencial en nitruros metálicos depositados con el sistema ubm

El propósito de este trabajo es el de estudiar la influencia del bombardeo de iones sobre la orientación preferencial (OP) en ni- truros metálicos de transición (NMT) producidos utilizando la técnica de sputtering reactivo con magnetrón desbalanceado varia- ble mediante imanes permanentes (UBM). Par...