Microestructura de recubrimientos de nitruros metálicos de transición producidos con la técnica de sputtering asistido con campos magnéticos variables.

Autores:
Olaya, J. J.
Tipo de recurso:
Article of journal
Fecha de publicación:
2007
Institución:
Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:
Universidad Nacional de Colombia
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/73656
Acceso en línea:
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/73656
http://bdigital.unal.edu.co/38132/
Palabra clave:
Magnetrón desbalanceado
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Rights
openAccess
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