Microestructura de recubrimientos de nitruros metálicos de transición producidos con la técnica de sputtering asistido con campos magnéticos variables.
- Autores:
-
Olaya, J. J.
- Tipo de recurso:
- Article of journal
- Fecha de publicación:
- 2007
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.unal.edu.co:unal/73656
- Acceso en línea:
- https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/73656
http://bdigital.unal.edu.co/38132/
- Palabra clave:
- Magnetrón desbalanceado
nitruros metálicos de transición
microestructura
orientación preferencial.
Unbalanced magnetron
transition metallic nitride
microstructure
preferential growth.
- Rights
- openAccess
- License
- Atribución-NoComercial 4.0 Internacional