Description: Microestructura de recubrimientos de nitruros metálicos de transición producidos con la técnica de sputtering asistido con campos magnéticos variables.

Autores:

Olaya, J. J.

Tipo de recurso:

Article of journal

Fecha de publicación:

2007

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

Acceso en línea:: https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/73656
http://bdigital.unal.edu.co/38132/

Palabra clave:: Magnetrón desbalanceado
nitruros metálicos de transición
microestructura
orientación preferencial.
Unbalanced magnetron
transition metallic nitride
microstructure
preferential growth.

Microestructura de recubrimientos de nitruros metálicos de transición producidos con la técnica de sputtering asistido con campos magnéticos variables.