Evaluación de la influencia del voltaje bias sobre la resistencia a la corrosión de películas delgadas de a1-nb-n
Se depositaron películas delgadas de Nitruro de Niobio (NbN) y Nitruro de Niobio Aluminio (A1-Nb-N) sobre sustratos de silicio (100) y de acero AISI 4140 mediante un sistema multiblanco magnetrón sputtering con r.f. (13.56 MHz), a partir de blancos de Nb y de Al de alta pureza (99.99%) en una atmósf...
- Autores:
-
Nieto, Jahir
Caicedo, Julio
Amaya, Cesar
Moreno, Henry
Aperador Chaparro, William
Tirado Mejia, Liliana
Bejarano, Gilberto
- Tipo de recurso:
- Article of journal
- Fecha de publicación:
- 2010
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
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- OAI Identifier:
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- Acceso en línea:
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- Palabra clave:
- Nitruro de niobio aluminio
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