Evaluación de la influencia del voltaje bias sobre la resistencia a la corrosión de películas delgadas de a1-nb-n

Se depositaron películas delgadas de Nitruro de Niobio (NbN) y Nitruro de Niobio Aluminio (A1-Nb-N) sobre sustratos de silicio (100) y de acero AISI 4140 mediante un sistema multiblanco magnetrón sputtering con r.f. (13.56 MHz), a partir de blancos de Nb y de Al de alta pureza (99.99%) en una atmósf...

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Autores:

Nieto, Jahir
Caicedo, Julio
Amaya, Cesar
Moreno, Henry
Aperador Chaparro, William
Tirado Mejia, Liliana
Bejarano, Gilberto

Tipo de recurso:

Article of journal

Fecha de publicación:

2010

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.unal.edu.co:unal/29747

Acceso en línea:

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/29747
http://bdigital.unal.edu.co/19795/

Palabra clave:

Nitruro de niobio aluminio
magnetrón sputtering
electroquímica
corrosión

Rights

openAccess

License

Atribución-NoComercial 4.0 Internacional