CARACTERIZACIÓN OPTO-ELÉCTRICA DE BICAPAS n+-ZnO/i-ZnO CRECIDAS IN SITU POR EVAPORACIÓN REACTIVA SIN USAR DOPAJE EXTRÍNSECO

Este trabajo describe un procedimiento para crecer in situ películas delgadas de n+-ZnO e i-ZnO altamente transparentes, depositadas secuencialmente por evaporación reactiva asistido por plasma sin usar dopaje extrínseco. Se logró una buena reproducibilidad del espesor y de las propiedades opto-eléc...

Full description

Autores:

Ramírez, Asdrúbal A.
Oyola, Johana S.
Calderón, Clara L.
Gordillo, Gerardo

Tipo de recurso:

Article of journal

Fecha de publicación:

2016

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.unal.edu.co:unal/67357

Acceso en línea:

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/67357
http://bdigital.unal.edu.co/68386/

Palabra clave:

53 Física / Physics
5 Ciencias naturales y matemáticas / Science
ZnO thin films
reactive evaporation
opto-electrical properties
virtual instrumentation
intrinsic doping.
Películas delgadas de ZnO
evaporación reactiva
propiedades opto-eléctricas
instrumentación virtual
dopaje intrínseco.

Rights

openAccess

License

Atribución-NoComercial 4.0 Internacional