Recubrimientos de nitruros metálicos depositados con ubm: tecnología eficiente y ambientalmente limpia

El objetivo de esta investigación es estudiar la influencia de la configuración del campo magnético sobre los parámetros del plasma y algunas propiedades de recubrimientos de TaN, TiN, NbN, ZrN y CrN producidos con un sistema de sputtering con magnetrón desbalanceado (UBM). Este sistema permite modi...

Full description

Autores:

Olaya Flórez, Jhon Jairo
Marulanda Cardona, Diana Maritza
Rodil Posada, Sandra Elizabeth

Tipo de recurso:

Article of journal

Fecha de publicación:

2010

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.unal.edu.co:unal/37619

Acceso en línea:

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/37619
http://bdigital.unal.edu.co/27703/

Palabra clave:

Sputtering con magnetron desbalanceado
UBM
nitruros metálicos
recubrimientos duros.

Rights

openAccess

License

Atribución-NoComercial 4.0 Internacional