Estudio teórico-experimental de recubrimiento de BixMyOz producidos por la técnica de sputtering con magnetrón desbalanceado
En este trabajo de investigación se depositaron recubrimientos de BiO y BiTiO sobre sustratos de vidrio y acero inoxidable AISI 316L mediante la técnica de sputtering DC y RF con magnetrón desbalanceado variando las condiciones del proceso de crecimiento. En el caso de los recubrimientos de BiTiO se...
- Autores:
-
Orozco Hernández, Giovany
- Tipo de recurso:
- Doctoral thesis
- Fecha de publicación:
- 2018
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.unal.edu.co:unal/69061
- Acceso en línea:
- https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/69061
http://bdigital.unal.edu.co/70493/
- Palabra clave:
- 0 Generalidades / Computer science, information and general works
51 Matemáticas / Mathematics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
66 Ingeniería química y Tecnologías relacionadas/ Chemical engineering
Bismuto
Sputtering con magnetróndes balanceado
Películas delgadas
Caracterización de materiales
Recubrimientos
Bismuth
Unbalanced magnetron sputtering
Thin films
Materials characterization
Coatings
- Rights
- openAccess
- License
- Atribución-NoComercial 4.0 Internacional