Estudio espectroscópico de plasmas en procesos papvd y pacvd con gas de llenado nitrógeno en la producción de recubrimientos

En este trabajo se estudian las características del plasma utilizado en la producción de dos tipos de recubrimientos por dos técnicas diferentes. En el primer caso, se presentan recubrimientos poliméricos por la técnica PACVD (Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition) por descarga glow; en el segun...