Crecimiento y caracterización de películas delgadas de nitruro de titanio circonio (Ti,Zr)N

En el presente trabajo se presentan los detalles experimentales de la implementación metodológica para la producción de películas delgadas de nitruro de titanio circonio (Ti,Zr)N por medio de la técnica deposición física de vapor asistida por plasma (PAPVD) mediante arco pulsado. Para la producción...

Full description

Autores:

Trujillo Montero, Óscar Alexander

Tipo de recurso:

Fecha de publicación:

2009

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.unal.edu.co:unal/69943

Acceso en línea:

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/69943
http://bdigital.unal.edu.co/2068/

Palabra clave:

53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Recubrimientos
Revestimientos protectores
Películas delgadas
Deposición física de vapor asistida por plasma (PAPVD)

Rights

openAccess

License

Atribución-NoComercial 4.0 Internacional