CARACTERIZACIÓN DE PELÍCULAS DELGADAS DE AlGaAs OBTENIDAS POR MAGNETRON SPUTTERING RF

Las películas de AlGaAs fueron depositadas por pulverización catódica asistida por campo magnético sobre sustratos de vidrio y Si (100). Se mantuvo constante la temperatura del substrato y se varió la relación de la potencia de los blancos de Al y GaAs. Para disminuir los efectos del desacople del p...

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Autores:

Losada Losada, Juan D.
Pulzara Mora, Álvaro

Tipo de recurso:

Article of journal

Fecha de publicación:

2018

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.unal.edu.co:unal/67293

Acceso en línea:

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/67293
http://bdigital.unal.edu.co/68322/

Palabra clave:

53 Física / Physics
5 Ciencias naturales y matemáticas / Science
AlGaAs
Magnetron Sputtering
Pulverización catódica
AlGaAs

Rights

openAccess

License

Atribución-NoComercial 4.0 Internacional