Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma

El desarrollo de este trabajo, consiste básicamente en la caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma; este sistema consta de una cámara cilíndrica en acero inoxidable la cual contiene en su interior dos electrodos (ánodo-cátodo). Al generar un arco pulsado...

Full description

Autores:
García García, Luis Alpidio
Tipo de recurso:
Fecha de publicación:
2001
Institución:
Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:
Universidad Nacional de Colombia
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/7166
Acceso en línea:
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/7166
http://bdigital.unal.edu.co/3491/
Palabra clave:
53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Física del plasma, Descargas de arco en vacío, Sondas electrostáticas, Diagnóstico de plasma, Arcos (Electricidad), Sondas de plasma, Películas delgadas
Rights
openAccess
License
Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
id UNACIONAL2_48f2d07cf962abb6d00d939d483768ea
oai_identifier_str oai:repositorio.unal.edu.co:unal/7166
network_acronym_str UNACIONAL2
network_name_str Universidad Nacional de Colombia
repository_id_str
spelling Atribución-NoComercial 4.0 InternacionalDerechos reservados - Universidad Nacional de Colombiahttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/info:eu-repo/semantics/openAccesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Pulzara Mora, Álvaro (Thesis advisor)12c49594-0bb1-494a-aff5-bc90052f3d36Devia Cubillos, Alfonso (Thesis advisor)dc7fcff5-393d-4a66-a4f3-f5a843c1a666García García, Luis Alpidiodd8553bc-82cb-45ee-b549-3c5487803e233002019-06-24T16:30:11Z2019-06-24T16:30:11Z2001https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/7166http://bdigital.unal.edu.co/3491/El desarrollo de este trabajo, consiste básicamente en la caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma; este sistema consta de una cámara cilíndrica en acero inoxidable la cual contiene en su interior dos electrodos (ánodo-cátodo). Al generar un arco pulsado entre ellos, se presenta un vigoroso vapor metálico utilizado para producir una capa muy delgada (recubrimiento) sobre un substrato. En este trabajo se calcularon parámetros básicos como temperatura electrónica (Te), densidad electrónica (ne), potencial del plasma en la región interelectródica, utilizando la técnica de sonda eléctrica doble. Análisis de las muestras y del material catódico utilizando microscopía de fuerza atómica y un microscopio electrónico permitió determinar los tipos de spots , modos de transición del arco e identificar macropartículas que son emitidas en estado liquido por el material catódico y que generan variaciones en lo parámetros del plasma. (Texto tomado de la fuente)Maestríaapplication/pdfspaUniversidad Nacional de Colombia Sede Manizales Facultad de Ciencias Exactas y NaturalesFacultad de Ciencias Exactas y NaturalesGarcía García, Luis Alpidio (2001) Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma. Maestría thesis, Universidad Nacional de Colombia - Sede Manizales.53 Física / Physics62 Ingeniería y operaciones afines / EngineeringFísica del plasma, Descargas de arco en vacío, Sondas electrostáticas, Diagnóstico de plasma, Arcos (Electricidad), Sondas de plasma, Películas delgadasCaracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasmaTrabajo de grado - Maestríainfo:eu-repo/semantics/masterThesisinfo:eu-repo/semantics/acceptedVersionTexthttp://purl.org/redcol/resource_type/TMORIGINALluisalpidiogarciagarcia.2001.pdfTesis de Maestría en Ciencias - Físicaapplication/pdf545045https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/7166/1/luisalpidiogarciagarcia.2001.pdfd821edcaf961995c6ebc9ad009fd6d12MD51THUMBNAILluisalpidiogarciagarcia.2001.pdf.jpgluisalpidiogarciagarcia.2001.pdf.jpgGenerated Thumbnailimage/jpeg5991https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/7166/2/luisalpidiogarciagarcia.2001.pdf.jpgbbc8f95e02dde1f204db06a1823a372eMD52unal/7166oai:repositorio.unal.edu.co:unal/71662023-08-25 23:05:02.447Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombiarepositorio_nal@unal.edu.co
dc.title.spa.fl_str_mv Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
title Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
spellingShingle Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Física del plasma, Descargas de arco en vacío, Sondas electrostáticas, Diagnóstico de plasma, Arcos (Electricidad), Sondas de plasma, Películas delgadas
title_short Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
title_full Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
title_fullStr Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
title_full_unstemmed Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
title_sort Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
dc.creator.fl_str_mv García García, Luis Alpidio
dc.contributor.advisor.spa.fl_str_mv Pulzara Mora, Álvaro (Thesis advisor)
Devia Cubillos, Alfonso (Thesis advisor)
dc.contributor.author.spa.fl_str_mv García García, Luis Alpidio
dc.subject.ddc.spa.fl_str_mv 53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
topic 53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Física del plasma, Descargas de arco en vacío, Sondas electrostáticas, Diagnóstico de plasma, Arcos (Electricidad), Sondas de plasma, Películas delgadas
dc.subject.proposal.spa.fl_str_mv Física del plasma, Descargas de arco en vacío, Sondas electrostáticas, Diagnóstico de plasma, Arcos (Electricidad), Sondas de plasma, Películas delgadas
description El desarrollo de este trabajo, consiste básicamente en la caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma; este sistema consta de una cámara cilíndrica en acero inoxidable la cual contiene en su interior dos electrodos (ánodo-cátodo). Al generar un arco pulsado entre ellos, se presenta un vigoroso vapor metálico utilizado para producir una capa muy delgada (recubrimiento) sobre un substrato. En este trabajo se calcularon parámetros básicos como temperatura electrónica (Te), densidad electrónica (ne), potencial del plasma en la región interelectródica, utilizando la técnica de sonda eléctrica doble. Análisis de las muestras y del material catódico utilizando microscopía de fuerza atómica y un microscopio electrónico permitió determinar los tipos de spots , modos de transición del arco e identificar macropartículas que son emitidas en estado liquido por el material catódico y que generan variaciones en lo parámetros del plasma. (Texto tomado de la fuente)
publishDate 2001
dc.date.issued.spa.fl_str_mv 2001
dc.date.accessioned.spa.fl_str_mv 2019-06-24T16:30:11Z
dc.date.available.spa.fl_str_mv 2019-06-24T16:30:11Z
dc.type.spa.fl_str_mv Trabajo de grado - Maestría
dc.type.driver.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
dc.type.version.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
dc.type.content.spa.fl_str_mv Text
dc.type.redcol.spa.fl_str_mv http://purl.org/redcol/resource_type/TM
status_str acceptedVersion
dc.identifier.uri.none.fl_str_mv https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/7166
dc.identifier.eprints.spa.fl_str_mv http://bdigital.unal.edu.co/3491/
url https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/7166
http://bdigital.unal.edu.co/3491/
dc.language.iso.spa.fl_str_mv spa
language spa
dc.relation.ispartof.spa.fl_str_mv Universidad Nacional de Colombia Sede Manizales Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
dc.relation.references.spa.fl_str_mv García García, Luis Alpidio (2001) Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma. Maestría thesis, Universidad Nacional de Colombia - Sede Manizales.
dc.rights.spa.fl_str_mv Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia
dc.rights.coar.fl_str_mv http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
dc.rights.license.spa.fl_str_mv Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
dc.rights.uri.spa.fl_str_mv http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
dc.rights.accessrights.spa.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
rights_invalid_str_mv Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
Derechos reservados - Universidad Nacional de Colombia
http://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
http://purl.org/coar/access_right/c_abf2
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.mimetype.spa.fl_str_mv application/pdf
institution Universidad Nacional de Colombia
bitstream.url.fl_str_mv https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/7166/1/luisalpidiogarciagarcia.2001.pdf
https://repositorio.unal.edu.co/bitstream/unal/7166/2/luisalpidiogarciagarcia.2001.pdf.jpg
bitstream.checksum.fl_str_mv d821edcaf961995c6ebc9ad009fd6d12
bbc8f95e02dde1f204db06a1823a372e
bitstream.checksumAlgorithm.fl_str_mv MD5
MD5
repository.name.fl_str_mv Repositorio Institucional Universidad Nacional de Colombia
repository.mail.fl_str_mv repositorio_nal@unal.edu.co
_version_ 1814089752544018432

Publicaciones similares