Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma

El desarrollo de este trabajo, consiste básicamente en la caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma; este sistema consta de una cámara cilíndrica en acero inoxidable la cual contiene en su interior dos electrodos (ánodo-cátodo). Al generar un arco pulsado...

Full description

Autores:
García García, Luis Alpidio
Tipo de recurso:
Fecha de publicación:
2001
Institución:
Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:
Universidad Nacional de Colombia
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/7166
Acceso en línea:
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/7166
http://bdigital.unal.edu.co/3491/
Palabra clave:
53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Física del plasma, Descargas de arco en vacío, Sondas electrostáticas, Diagnóstico de plasma, Arcos (Electricidad), Sondas de plasma, Películas delgadas
Rights
openAccess
License
Atribución-NoComercial 4.0 Internacional
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