Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
El desarrollo de este trabajo, consiste básicamente en la caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma; este sistema consta de una cámara cilíndrica en acero inoxidable la cual contiene en su interior dos electrodos (ánodo-cátodo). Al generar un arco pulsado...
- Autores:
-
García García, Luis Alpidio
- Tipo de recurso:
- Fecha de publicación:
- 2001
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.unal.edu.co:unal/7166
- Palabra clave:
- 53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Física del plasma, Descargas de arco en vacío, Sondas electrostáticas, Diagnóstico de plasma, Arcos (Electricidad), Sondas de plasma, Películas delgadas
- Rights
- openAccess
- License
- Atribución-NoComercial 4.0 Internacional