Fabricación de redes de difracción sobre silicio monocristalino con láser pulsado multilinea de Nd – YAG

En este trabajo se fabricaron redes de difracción sobre silicio monocristalino utilizando un láser pulsado multilínea de Nd:YAG (con longitudes de onda de emisión 1064, 532 y 355 nm, con energías de 900, 450 y 200 mJ, tiempos de emisión de 6 y 5 ns, respectivamente). Para encontrar parámetros óptimo...

Full description

Autores:
Andrade Zambrano, Darío Fernando
Tipo de recurso:
Fecha de publicación:
2012
Institución:
Universidad Nacional de Colombia
Repositorio:
Universidad Nacional de Colombia
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repositorio.unal.edu.co:unal/11297
Acceso en línea:
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/11297
http://bdigital.unal.edu.co/8709/
Palabra clave:
Láser pulsado multilinea
Ablación Láser
Red de difracción
Croscopia Láser confocal
Índice de refracción / Multiline pulsed laser
laser ablation
Diffraction grating
Confocal laser microscopy
Refraction index.
Rights
openAccess
License
Atribución-NoComercial 4.0 Internacional