Estudio de propiedades físicas de capas de AlN y multicapas de AlN/Mn obtenidas por Magnetrón Sputtering

Las capas de nitruro de aluminio (AlN) y las multicapas de (AlN/Mn) fueron crecidas por pulverización catódica asistida por campo magnético sobre substratos de silicio orientado (100) y vidrio en una atmósfera mixta de Ar + N2, variando la temperatura de substrato (450°C ≤ Tc ≤ 600°C), con el fin de...