Síntesis y caracterización de sistemas en monocapas y bicapas Tin/Tic utilizando plasmas producidos por arco pulsado
Películas de TiN, TiC y bicapas de TiN/TiC fueron crecidas sobre sustratos de acero inoxidable 304 por la técnica PAPVD por arco catódico pulsado variando la temperatura del sustrato en un rango entre 50 ºC y 250 ºC. Para las variaciones de temperatura se diseño un sistema de calentamiento en el int...
- Autores:
-
Benavides Palacios, Vicente Javier
- Tipo de recurso:
- Fecha de publicación:
- 2008
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.unal.edu.co:unal/2850
- Palabra clave:
- 53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Películas delgadas
Revestimientos protectores
Materiales cerámicos
Aspersión de plasma
- Rights
- openAccess
- License
- Atribución-NoComercial 4.0 Internacional