Caracterización de películas de carbón crecidas por la técnica CVD
Se diseño y construyó un reactor de filamento caliente (HF) para producir películas de carbón, por la técnica de Deposito Químico en Fase Vapor (CVD), empleando como sustrato láminas de Silicio. El reactor se ha diseñado de tal manera que posee un sistema de refrigeración interno y otro externo como...
- Autores:
-
Cárdenas Jiménez, José Israel
- Tipo de recurso:
- Fecha de publicación:
- 2005
- Institución:
- Universidad Nacional de Colombia
- Repositorio:
- Universidad Nacional de Colombia
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.unal.edu.co:unal/7197
- Palabra clave:
- 53 Física / Physics
62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
Películas de carbón, Recubrimientos duros, Recubrimientos superduros, Reactor de Filamento caliente, Técnica de Deposito Químico en fase Vapor
- Rights
- openAccess
- License
- Atribución-NoComercial 4.0 Internacional