Producción y caracterización de recubrimientos en multicapas de TiN/DLC en películas delgadas

El objeto de este trabajo es la producción de recubrimientos duros de TiN/DLC en forma de multicapas con películas delgadas de nitruro de titanio (TiN) y carbono amorfo (DLC) depositados sobre sustrato de silicio orientado (100), usando la técnica PAPVD, por arco pulsado. Los objetivos se centran en...

Full description

Autores:

Segura Giraldo, Belarmino

Tipo de recurso:

Fecha de publicación:

2003

Institución:

Universidad Nacional de Colombia

Repositorio:

Universidad Nacional de Colombia

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.unal.edu.co:unal/2824

Acceso en línea:

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/2824
http://bdigital.unal.edu.co/1197/

Palabra clave:

53 Física / Physics
Revestimientos protectores
Películas delgadas
Física del plasma

Rights

openAccess

License

Atribución-NoComercial 4.0 Internacional