Multicapas nanoestructuradas de Cr/CrNx como barrera de difusión entre Cu y Si

Esta tesis se enfoca en el crecimiento y la caracterización funcional de multicapas basadas en Cr y CrNx depositadas por técnicas de deposición en fase vapor, con énfasis en el comportamiento como barrera de difusión entre cobre y silicio. Para este propósito se prestó especial atención en sus carac...