Producción y caracterización de bicapas de DLC/ZrxOy usando técnicas de sputtering y CVD asistido por plasma

Este trabajo describe la síntesis de una bicapa compuesta de diamante como carbón (DLC) con una intercapa de Zirconia (ZrO2), la cual fue sintetizada por medio de un sistema deposición química en fase vapor por microondas (MPCVD) para el DLC y Sputtering por R.F. para la intercapa de ZrO2, el deposi...