Diseño del sistema de control de equipo para tratamiento de materiales por plasma
El sistema está diseñado para obtener un alto vacío residual (menos de 10 [mPa]) en la cámara de trabajo con un volumen de 0,3 [m^3] y mantener la presión de funcionamiento en el rango de 0,1400 [Pa] con atmósfera de mezcla de gases controlada. El esquema se basa en un sistema de bombeo de dos etapa...
- Autores:
-
Bermúdez Montaña, Esgar Armando
- Tipo de recurso:
- http://purl.org/coar/version/c_b1a7d7d4d402bcce
- Fecha de publicación:
- 2021
- Institución:
- Universidad Industrial de Santander
- Repositorio:
- Repositorio UIS
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:noesis.uis.edu.co:20.500.14071/41501
- Palabra clave:
- Sistema de control
Plasma
Alto vacío
Bombeo
Flujo de gas
descarga eléctrica.
Control System
Plasma
High Vacuum
Pumping
Gas Flow
Electric Discharge.
- Rights
- License
- Attribution-NonCommercial 4.0 International (CC BY-NC 4.0)