Estudio de espesor para resinas AZ-1518 y AZ-nLOF2035 a partir de medidas ópticas multi-interfaz mediante elipsometría espectral

El proceso microlitográfico de circuitos con resinas fotosensibles requiere entender su comportamiento en condiciones de laboratorio, ya que el espesor de la capa depende de la viscosidad, densidad del líquido y velocidad de rotación. Este estudio se centra en las resinas AZ-1518 y AZ-nLOF2035, util...

Full description

Autores:

Sánchez Arroyave, Irene

Tipo de recurso:

Trabajo de grado de pregrado

Fecha de publicación:

2024

Institución:

Universidad Distrital Francisco José de Caldas

Repositorio:

RIUD: repositorio U. Distrital

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repository.udistrital.edu.co:11349/93679

Acceso en línea:

http://hdl.handle.net/11349/93679

Palabra clave:

Caracterización óptica
Elipsometría espectral
Resinas fotosensibles
AZ-1518, AZ-nLOF2035
Nuevo Amorfo
Licenciatura en Física -- Tesis y disertaciones académicas
Microlitografía
Elipsometría
Óptica -- Mediciones
Optical Characterization
Spectral Ellipsometry
Photosensitive Resins
AZ-1518, AZ-nLOF2035
New-Amorphous

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