Estudio de las propiedades mecánicas de películas de DLC depositadas en dos sustratos AISI D2 Y AISI 316L crecidas con la técnica de plasma PECVD mediante la variación de flujo de gas

En el presente trabajo se muestran los resultados obtenidos al realizar la deposición de películas delgadas de DLC utilizando la técnica de plasma PECVD con cátodo adicional sobre la superficie de dos sustratos metálicos acero para herramientas D2 y acero inoxidable 316L, variando el flujo de gas me...

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Autores:
Tipo de recurso:
Trabajo de grado de pregrado
Fecha de publicación:
2019
Institución:
Universidad Distrital Francisco José de Caldas
Repositorio:
RIUD: repositorio U. Distrital
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repository.udistrital.edu.co:11349/22381
Acceso en línea:
http://hdl.handle.net/11349/22381
Palabra clave:
DLC
Recubrimiento
Peliculas finas
PECVD
Ingeniería Mecánica - Tesis y disertaciones académicas
Desgaste mecánico
Pruebas de gases
diamont like carbon
PECVD
Thin Films
coatings
Rights
License
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