Películas de carburo de vanadio crecidas por magnetron sputtering reactivo sobre sustratos de acero M2
Se crecieron películas delgadas de carburo de vanadio sobre sustratos de aceros M2 usando magnetron sputtering reactivo R.F. y un blanco de vanadio de 2 pulgadas de diámetro (99.99 %). El flujo de metano CH 4 se vario desde 0.5 a 3.0 sccm en la mezcla de Ar/CH4. El análisis por difracción de rayos X...
- Autores:
-
Alba de Sánchez, Nelly Cecilia
Rincón López, Carlos Alberto
Moreno, Andrea
Bolaños Pantoja, Gilberto María
- Tipo de recurso:
- Article of journal
- Fecha de publicación:
- 2011
- Institución:
- Universidad Autónoma de Occidente
- Repositorio:
- RED: Repositorio Educativo Digital UAO
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:red.uao.edu.co:10614/12037
- Acceso en línea:
- http://red.uao.edu.co//handle/10614/12037
- Palabra clave:
- Materiales - Propiedades mecánicas
Material - Mechanical properties
Carburo de vanadio
Pulverizacion reactiva
Nanodureza
Microscopio de fuerza atómica
Vanadium carbide
Reactive sputtering
Nano hardness
Atomic force microscope
- Rights
- openAccess
- License
- Derechos Reservados - Universidad Autónoma de Occidente
| Summary: | Se crecieron películas delgadas de carburo de vanadio sobre sustratos de aceros M2 usando magnetron sputtering reactivo R.F. y un blanco de vanadio de 2 pulgadas de diámetro (99.99 %). El flujo de metano CH 4 se vario desde 0.5 a 3.0 sccm en la mezcla de Ar/CH4. El análisis por difracción de rayos X (XRD), muestra que las películas son predominantemente cristalinas y exhiben dos fases del sistema binario VC. Los difractogramas de XRD muestran una orientación cristalográfica predominante en los picos (200) y (111) debido a la estructura tipo NaCl de la fase VC subestequiometrica. La intensidad de este pico aumenta con la concentración de metano. Picos asociados a la fase β-V2C se pueden observar en los difractogramas que se revelan a altas concentraciones de metano. La morfología de las superficies de las capas fue analizada por AFM. Las propiedades tribológicas tales como coeficiente de fricción y adhesión fueron estudiadas usando las técnicas de pin on disk y scratch. El coeficiente de fricción disminuye desde 0.8 a 0.3 y la carga crítica varía desde de 30N a 50N al aumentar la concentración de metano. La dureza de las películas medidas por medio de nanoindentación fue entre 8 y 20 Gpa |
|---|