Películas de carburo de vanadio crecidas por magnetron sputtering reactivo sobre sustratos de acero M2

Se crecieron películas delgadas de carburo de vanadio sobre sustratos de aceros M2 usando magnetron sputtering reactivo R.F. y un blanco de vanadio de 2 pulgadas de diámetro (99.99 %). El flujo de metano CH 4 se vario desde 0.5 a 3.0 sccm en la mezcla de Ar/CH4. El análisis por difracción de rayos X...

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Autores:

Alba de Sánchez, Nelly Cecilia
Rincón López, Carlos Alberto
Moreno, Andrea
Bolaños Pantoja, Gilberto María

Tipo de recurso:

Article of journal

Fecha de publicación:

2011

Institución:

Universidad Autónoma de Occidente

Repositorio:

RED: Repositorio Educativo Digital UAO

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:red.uao.edu.co:10614/12037

Acceso en línea:

http://red.uao.edu.co//handle/10614/12037

Palabra clave:

Materiales - Propiedades mecánicas
Material - Mechanical properties
Carburo de vanadio
Pulverizacion reactiva
Nanodureza
Microscopio de fuerza atómica
Vanadium carbide
Reactive sputtering
Nano hardness
Atomic force microscope

Rights

openAccess

License

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