Caracterización tribológica de películas de Cr/CrN depositadas sobre acero RUS-3 por el método de pulverización catódica D.C, asistida por campo magnético

Se depositaron películas de Cr/CrN sobre sustratos de silicio [100] y acero RUS-3 mediante la técnica de pulverización catódica d.c. reactiva asistida por campo magnético, usando un blanco de Cr (99.95%). Con el fin de estudiar el efecto del contenido de nitrógeno de la mezcla de gases Ar/N2 sobre l...

Full description

Autores:

Alba de Sánchez, Nelly Cecilia
Caicedo Angulo, Julio César
Zambrano Romero, Gustavo Adolfo
Ipaz, Leoníd
Gómez, María Elena

Tipo de recurso:

Article of journal

Fecha de publicación:

2010

Institución:

Universidad Autónoma de Occidente

Repositorio:

RED: Repositorio Educativo Digital UAO

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:red.uao.edu.co:10614/12138

Acceso en línea:

http://red.uao.edu.co//handle/10614/12138

Palabra clave:

Nitruro de cromo
Magnetrón sputtering reactivo
Propiedades tribológicas
Chromium nitride
Reactive magnetron sputtering
Tribological properties

Rights

openAccess

License

Derechos Reservados - Universidad Simón Bolívar, 2010