Control y caracterización de un dispositivo de posicionamiento X-Y con desplazamientos micrométricos para una posterior aplicación en procesos de microfabricación

Autores:
Guzmán Díaz, Sebastián
Tipo de recurso:
Fecha de publicación:
2009
Institución:
Universidad EAFIT
Repositorio:
Repositorio EAFIT
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repository.eafit.edu.co:10784/4287
Acceso en línea:
http://hdl.handle.net/10784/4287
Palabra clave:
Microfabricación
Microlitografía
MICROELECTRÓNICA
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SEMICONDUCTORES
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PIROELECTRICIDAD Y PIEZOELECTRICIDAD
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MICROMECÁNICA
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Rights
License
Acceso abierto
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