Control y caracterización de un dispositivo de posicionamiento X-Y con desplazamientos micrométricos para una posterior aplicación en procesos de microfabricación

Autores:
Guzmán Díaz, Sebastián
Tipo de recurso:
Fecha de publicación:
2009
Institución:
Universidad EAFIT
Repositorio:
Repositorio EAFIT
Idioma:
spa
OAI Identifier:
oai:repository.eafit.edu.co:10784/4287
Acceso en línea:
http://hdl.handle.net/10784/4287
Palabra clave:
Microfabricación
Microlitografía
MICROELECTRÓNICA
CIRCUITOS INTEGRADOS
SEMICONDUCTORES
NANOCRISTALES SEMICONDUCTORES
TRANSDUCTORES DE PRESIÓN
PIROELECTRICIDAD Y PIEZOELECTRICIDAD
MÁQUINAS HERRAMIENTAS
MOTORES
MICROMECÁNICA
Microelectronics
Integrated circuits
Semiconductors
Semiconductor nanocrystals
Pressure transducers
Pyro- and piezo-electricity
Machine-tools
Motors
Micromechanics
Rights
License
Acceso abierto