Control y caracterización de un dispositivo de posicionamiento X-Y con desplazamientos micrométricos para una posterior aplicación en procesos de microfabricación

Autores:

Guzmán Díaz, Sebastián

Tipo de recurso:

Fecha de publicación:

2009

Institución:

Universidad EAFIT

Repositorio:

Repositorio EAFIT

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repository.eafit.edu.co:10784/4287

Acceso en línea:

http://hdl.handle.net/10784/4287

Palabra clave:

Microfabricación
Microlitografía
MICROELECTRÓNICA
CIRCUITOS INTEGRADOS
SEMICONDUCTORES
NANOCRISTALES SEMICONDUCTORES
TRANSDUCTORES DE PRESIÓN
PIROELECTRICIDAD Y PIEZOELECTRICIDAD
MÁQUINAS HERRAMIENTAS
MOTORES
MICROMECÁNICA
Microelectronics
Integrated circuits
Semiconductors
Semiconductor nanocrystals
Pressure transducers
Pyro- and piezo-electricity
Machine-tools
Motors
Micromechanics

Rights

License

Acceso abierto