Caracterización electroquímica de bicapas de Ti/TiN depositadas sobre acero RUS-3 por el método de magnetrón sputtering
Se depositaron bicapas del sistema Ti/TiN sobre substratos de silicio [100] y acero RUS-3 usando la técnica de magnetrón sputtering d.c. a una temperatura del substrato de 400ºC, una potencia d.c de 80W y aplicando al substrato un voltaje de polarización de -50V. Con el fin de estudiar el efecto del...
- Autores:
-
Aperador Chaparro, William Arnulfo
Caicedo, Julio Cesar
Ipaz, Leonid
Zambrano, Gustavo
Gómez, María Elena
Yate, Luis
Esguerra Arce, Johanna
- Tipo de recurso:
- Article of investigation
- Fecha de publicación:
- 2008
- Institución:
- Escuela Colombiana de Ingeniería Julio Garavito
- Repositorio:
- Repositorio Institucional ECI
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.escuelaing.edu.co:001/2364
- Acceso en línea:
- https://repositorio.escuelaing.edu.co/handle/001/2364
- Palabra clave:
- Magnetrones
Acero - Corrosión
Titanio
Magnetrons
Steel - Corrosion
Titanium
Nitruro de titanio
Caracterización Electroquímica
Magnetrón Sputtering
Titanium Nitride
Electrochemical Characterization
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Se depositaron bicapas del sistema Ti/TiN sobre substratos de silicio [100] y acero RUS-3 usando la técnica de magnetrón sputtering d.c. a una temperatura del substrato de 400ºC, una potencia d.c de 80W y aplicando al substrato un voltaje de polarización de -50V. Con el fin de estudiar el efecto del contenido de nitrógeno de la mezcla de gases en la velocidad de corrosión del acero recubierto con las bicapas de Ti/TiN, se utilizaron tres concentraciones de nitrógeno en la mezcla de gases Ar/N2. Los enlaces quimicos presentes en las bicapas fueron estudiados mediante Espectroscopia de Infrarrojo con Transformada de Fourier (FTIR), la estructura cristalina fue examinada mediante difracción de rayos-X (XRD) y el comportamiento frente a la corrosion de las bicapas depositadas sobre los aceros RUS-3, se estudio mediante Espectroscopia de Impedancia Electroquímica (EIS) y curvas de polarización potenciodinámicas (Tafel), encontrandose un incremento de 6.8 KΩ a 60.3 KΩ en la resistencia a la polarización y una disminución del 95% en la velocidad de corrosión cuando se utilizo la menor concentración de N2 en la mezcla de gases de trabajo. |
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Con el fin de estudiar el efecto del contenido de nitrógeno de la mezcla de gases en la velocidad de corrosión del acero recubierto con las bicapas de Ti/TiN, se utilizaron tres concentraciones de nitrógeno en la mezcla de gases Ar/N2. Los enlaces quimicos presentes en las bicapas fueron estudiados mediante Espectroscopia de Infrarrojo con Transformada de Fourier (FTIR), la estructura cristalina fue examinada mediante difracción de rayos-X (XRD) y el comportamiento frente a la corrosion de las bicapas depositadas sobre los aceros RUS-3, se estudio mediante Espectroscopia de Impedancia Electroquímica (EIS) y curvas de polarización potenciodinámicas (Tafel), encontrandose un incremento de 6.8 KΩ a 60.3 KΩ en la resistencia a la polarización y una disminución del 95% en la velocidad de corrosión cuando se utilizo la menor concentración de N2 en la mezcla de gases de trabajo.Ti/TiN bilayers were deposited onto silicon [100] and RUS-3 steel substrates by using the d.c. magnetron sputtering at substrate temperature of 400°C, a d.c. power of 80W and applying a bias voltage of -50V. With the aim to study the effect of the nitrogen content in the Ar/N2 gas mixture of the discharge gases on the corrosion velocity of the steel coated with the Ti/TiN bilayers, three nitrogen concentrations were used. RUS-3 samples with and without coating were characterized. The chemical bonding presents in the bilayes was study by Fourier Transform Infrared Spectrsocopy (FTIR). The crystal structural was examined by x-ray diffraction and corrosion behavior was studied by potenciodynamic polarization test (Tafel curves) and electrochemical impedance spectroscopy (EIS). It was found a decrease of 95% in the corrosion velocity and an increase in the polarization resistance (from 6.8 KΩ to 60.3 KΩ) when was used the minor nitrogen content in the Ar/N2 gas mixture.4 páginasapplication/pdfspaCaracterización electroquímica de bicapas de Ti/TiN depositadas sobre acero RUS-3 por el método de magnetrón sputteringArtículo de revistainfo:eu-repo/semantics/publishedVersionhttp://purl.org/coar/resource_type/c_2df8fbb1Textinfo:eu-repo/semantics/articlehttp://purl.org/redcol/resource_type/ARThttp://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85Colombia1311040N/ARevista Colombiana de FísicaV. K. William Grips et al / Thin Solid Films 514, 204-211 (2006).C. Subramanian, K. N. Strafford, Wear 165, 85 (1993).H. A. Jehn, Surf. Coat. Technol. 125, 212 (2000).H. -H. Huang et al. / Applied Surface Science 244, 252-256 (2005).C. Liu et al. / Surf. Coat. Technol. 200, 4011-4016 (2006).J. W. Elamet al. / Thin Solid Films vol. 436 p. 145–156, (2003).Q. Zhang et al. / Nucl. Instr. 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