Caracterización electroquímica de bicapas de Ti/TiN depositadas sobre acero RUS-3 por el método de magnetrón sputtering

Se depositaron bicapas del sistema Ti/TiN sobre substratos de silicio [100] y acero RUS-3 usando la técnica de magnetrón sputtering d.c. a una temperatura del substrato de 400ºC, una potencia d.c de 80W y aplicando al substrato un voltaje de polarización de -50V. Con el fin de estudiar el efecto del...

Full description

Autores:

Aperador Chaparro, William Arnulfo
Caicedo, Julio Cesar
Ipaz, Leonid
Zambrano, Gustavo
Gómez, María Elena
Yate, Luis
Esguerra Arce, Johanna

Tipo de recurso:

Article of investigation

Fecha de publicación:

2008

Institución:

Escuela Colombiana de Ingeniería Julio Garavito

Repositorio:

Repositorio Institucional ECI

Idioma:

spa

OAI Identifier:

oai:repositorio.escuelaing.edu.co:001/2364

Acceso en línea:

https://repositorio.escuelaing.edu.co/handle/001/2364

Palabra clave:

Magnetrones
Acero - Corrosión
Titanio
Magnetrons
Steel - Corrosion
Titanium
Nitruro de titanio
Caracterización Electroquímica
Magnetrón Sputtering
Titanium Nitride
Electrochemical Characterization
Magnetron Sputtering

Rights

closedAccess

License

http://purl.org/coar/access_right/c_14cb