Estudio de sistemas de micro y nano fabricación procesos de micro mecanizado mecánico
Una visión general de las técnicas de micromecanizado de superficie donde se describen las principales aplicaciones. La tecnología de capa de sacrificio para la fabricación de estructuras de película delgada (por ejemplo, de polisilicio) bajo el grabado lateral de una capa independiente de sacrifici...
- Autores:
-
Espinosa Díaz, David Ricardo
Riveros Cruz, Diego Alexander
- Tipo de recurso:
- Trabajo de grado de pregrado
- Fecha de publicación:
- 2015
- Institución:
- Universidad ECCI
- Repositorio:
- Repositorio Institucional ECCI
- Idioma:
- spa
- OAI Identifier:
- oai:repositorio.ecci.edu.co:001/1871
- Acceso en línea:
- https://repositorio.ecci.edu.co/handle/001/1871
- Palabra clave:
- Fabricación
Matriz polimérica
Micromecanizado
Manufacturing
Polymer matrix
Micromachining
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- openAccess
- License
- Derechos Reservados - Universidad ECCI, 2015
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Una visión general de las técnicas de micromecanizado de superficie donde se describen las principales aplicaciones. La tecnología de capa de sacrificio para la fabricación de estructuras de película delgada (por ejemplo, de polisilicio) bajo el grabado lateral de una capa independiente de sacrificio subyacente (por ejemplo, dióxido de silicio) se discute en detalle. Otro enfoque tecnológico utiliza la combinación de medidas estándar de procesamiento de IC con grabado de cristal de orientación dependiente de la superficie del sustrato de silicio para la construcción de microestructuras multicapa exentas. Una tercera superficie de micromecanizado se basa en la técnica de grabado de plasma isotrópico del silicio sustrato para la realización de estructuras micromecánicas en la superficie 33 de la oblea. lA particularidad común de las estructuras micromecánicas fabricadas por ellos, tres técnicas es la viabilidad de su integración con componentes de CI en la mismo chip El estado de la técnica de microestructuras realizadas por la tecnología de capa de sacrificio se ilustra mediante varios ejemplos, tales como actuadores de peine. micromotores. interruptores, resonadores y microcavidades. |
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Una tercera superficie de micromecanizado se basa en la técnica de grabado de plasma isotrópico del silicio sustrato para la realización de estructuras micromecánicas en la superficie 33 de la oblea. lA particularidad común de las estructuras micromecánicas fabricadas por ellos, tres técnicas es la viabilidad de su integración con componentes de CI en la mismo chip El estado de la técnica de microestructuras realizadas por la tecnología de capa de sacrificio se ilustra mediante varios ejemplos, tales como actuadores de peine. micromotores. interruptores, resonadores y microcavidades.1. PRELIMINARES 1.1. EL PROBLEMA DE INVESTIGACIÓN 1.1.1. Descripción del problema 1.1.2. Formulación del problema 1.2. OBJETIVOS 1.2.1. Objetivo general 1.2.2. Objetivos específicos 1.3. JUSTIFICACIÓN Y DELIMITACIÓN DE LA INVESTIGACIÓN 1.3.1. Justificación 1.3.2. Delimitación 1.4 diseño metodologico 2. MARCO REFERENCIAL 2.1. Marco histórico 2.1.1. Origenes conceptuales 2.1.2. E. Erik Drexler 2.1.3. Norio Taniguchi 2.1.4. Avances experimentales 2.1.5. Invencion del microscopio del efecto tunel 2.1.6. Avances en ciencias interfaciales y de coloides 2.2. Marco teórico 2.2.1. Mecanizado sin arranque de viruta 2.2.2. Mecanizado por abrasión 2.2.3. Mecanizado por arranque de viruta 2.2.4. Movimientos de corte 2.2.5. Mecanizado manual 2.2.6. Mecanizado con máquina-herramienta 2.3. MICROMECANIZADO EN LATINOAMERICA Y COLOMBIA 2.3.1. Contribuciones regionales al desarrollo de la Nanotecnología 2.3.2. Investigadores Destacados 2.3.3. Por qué el futuro no nos necesita 2.3.4. Reporte de la Royal Society sobre las implicaciones de la nanotecnología 2.3.5. Aplicaciones comerciales iniciales 3. RESULTADOS 3.1. MICROMAQUINADO SUPERFICIE (SURFACE MICROMACHINING)AUTORES: C LINDER, L PARATTE, M-A GRETILLAT, V P JAECKLIN AND N F DE ROOIJ 3.1.1. INTRODUCCIÓN 3 3.1.2. Las técnicas para microestructuras superficiales 3.1.3. Tecnología de capa de sacrificio 3.1.4. Micromecanizado en superficie 3.1.5. Grabado por plasma isotrópico 3.1.6. Aplicaciones 3.1.7. Motores paso a paso electrostáticos integrados 3.1.8. Interruptores electromecánicos 3.1.9. Resonadores con excitación y detección integrada 3.2 MICROMAQUINADO SUPERFICIE (SURFACE MICROMACHINING).AUTOR: ROBERT BOSCH GMBH 3.2.1. Micromaquinado base de silicio policristalino 3.2.2. Capa de sacrificio 3.2.3. Superficie micromaquinado aplicación-acelerómetro 3.2.4. Conceptos de integración 3.2.5. Giroscopios 3.2.6. Propiedades importantes de metales en aplicaciones mems 3.2.7. Coeficiente de expansión térmica 3.2.8. Tecnología 3.2.9. Campos de aplicación 3.3. MICROFRESADO DE POLIMEROS BIOCOMPATIBLES (POLYMER MICRO-MILLING BIOCOMPATIBLES).autor: CHRISTINA LEINENBACH HANNU KATTELUS ROY KNECHTEL 3.3.1. Resumen 3.3.2. Introducción 3.3.3. Clasificación general de las técnicas de microfabricación 3.3.4. Micromecanizado (microfresado) 3.3.5. Metodología 3.3.6. Proceso de microfresado 3.3.7. Ajuste de parámetros de corte 3.3.8. Resultados 3.3.9. Microherramientas 4. ANALISIS, CONCLUSIONES Y RECOMENDACIONES REFERENCIASPregradoTecnólogo en Mecánica IndustrialTecnología en Mecánica Industrial87 p.application/pdfspaUniversidad ECCIColombiaFacultad de IngenieríasDerechos Reservados - Universidad ECCI, 2015info:eu-repo/semantics/openAccesshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2Estudio de sistemas de micro y nano fabricación procesos de micro mecanizado mecánicoTrabajo de grado - Pregradohttp://purl.org/coar/resource_type/c_7a1fTextinfo:eu-repo/semantics/bachelorThesishttps://purl.org/redcol/resource_type/TPhttp://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85http://purl.org/coar/version/c_dc82b40f9837b551Hapgood, Fred (November de 1986). «"Nanotechnology" / "Tinytech"». (s.f.).Royal Society and Royal Academy of Engineering. July 2004. (s.f.).14-11-2007, M. p.-u.-4.-2. (s.f.). Mecanizado por electroerosión Revista Metal-univers 6-4-2002 María del Mar Espinosa. 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Gribbin, John; Gribbin, Mary (1997). Richard Feynman: A Life in Science. Dutton.L. N. López de Lacalle Marcaide, J. A. Sánchez Galíndez, and A. Lamikiz Menchaca, Mecanizado de alto rendimiento, Vis: Ediciones Técnicas Izaro, 2004. (s.f.).micro. (s.f.). http://www.micromanufacturing.net/didactico/Desarollo/microtechnologies_es/1-7-clasificacion/1-7-3-mechanical-processes/1-7-3-1-micro-cutting-processes.microfabricacion. (s.f.). http://www.micromanufacturing.net/didactico/Desarollo/microtechnologies_es/1-4-investigacion.microfactoria. (s.f.). http://www.micromanufacturing.net/didactico/Desarollo/microtechnologies_es/1-4-investigacion/1-4-1-research-policy-in-asia.microinyeccion. (s.f.). Juan Carlos Lacal; Rosario Perona; James Feramisco (11 June 1999).Millán Gómez, S. (2007). http://es.wikipedia.org/wiki/Aluminio.nanotecnologia . (s.f.). Center for Responsible Nanotechnology. 31 July 2004.Oscar Gonzalo, I. Q. (15 de 09 de 2010). http://www.interempresas.net/MetalMecanica/Articulos/43234-Nuevastendencias- para-el-mecanizado.html.universidad del norte. (s.f.). http://www.uninorte.edu.co/documents/273106/ee3c5520-fda3-4186-8b9dde6556418343.FabricaciónMatriz poliméricaMicromecanizadoManufacturingPolymer matrixMicromachiningORIGINALInforme de seminario.pdfInforme de seminario.pdfapplication/pdf2258200https://repositorio.ecci.edu.co/bitstream/001/1871/1/Informe%20de%20seminario.pdf087790beac88e9e1f1b82fc35b09d201MD51Cesión de derechos.pdfCesión de derechos.pdfapplication/pdf103860https://repositorio.ecci.edu.co/bitstream/001/1871/2/Cesi%c3%b3n%20de%20derechos.pdf1ba244d85cfe72c544c28a53a1a1fa7bMD52Acta de grado.pdfActa de grado.pdfapplication/pdf66805https://repositorio.ecci.edu.co/bitstream/001/1871/3/Acta%20de%20grado.pdf5427cba1c3e71c23311eb57ec04e68e5MD53LICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-814798https://repositorio.ecci.edu.co/bitstream/001/1871/4/license.txt88794144ff048353b359a3174871b0d5MD54TEXTInforme de seminario.pdf.txtInforme de seminario.pdf.txtExtracted 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